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有效的實現(xiàn)低閾值小電壓mos管

發(fā)布日期:2023-03-02 點擊次數(shù):55
針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足提出一種有效的實現(xiàn)低閾值電壓MOS 器件的方法,其通過改變原有器件的層次和結(jié)構(gòu),可在不增加制版和光刻的前提下實現(xiàn)低 閾值電壓Vt MOS管的制作。為
實現(xiàn)發(fā)明目的,本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案一種有效的實現(xiàn)低閾值電壓MOS器件的方法,其特征在于,該方法為在形成MOS 器件的過程中,修改MOS管版圖結(jié)構(gòu),令MOS器件只使用N阱
或P阱的注入作為溝道的摻雜, 降低溝道濃度,實現(xiàn)MOS管閾值電壓Vt的降低。進(jìn)一步地講,該方法具體為對于NMOS或PMOS器件,在需要低閾值電壓Vt器件處,去除MOS管中g(shù)ate區(qū)域
的 Nplus或Pplus,P注入和N+的注入或N注入和P+的注入均只在器件源極與漏極進(jìn)行,溝 道區(qū)域只有P-或N-的注入。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有下列優(yōu)點該實現(xiàn)低閾值電壓MOS器
件的方法操作 簡單,容易實現(xiàn),可降低低閾值電壓MOS器件的制造成本,并縮短生產(chǎn)周期。現(xiàn)有技術(shù)中NMOS的結(jié)構(gòu)示意圖;為現(xiàn)有技術(shù)NMOS剖面結(jié)構(gòu)示意圖;發(fā)明一較佳實施例中低
閾值電壓MOS器件的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
在典型的CMOS工藝中,NMOS的結(jié)構(gòu),在該器件中,主要的注入有3 種p-注入,P型注入以及N+注入;P-注入用以形成P阱,同時也是MOS管B端。它使用版圖中的Pwell層制版。P-決定
了器件襯底的電荷濃度,亦是溝道濃度。P型注入用以調(diào)節(jié)溝道電荷濃度,作調(diào)節(jié)器件閾值電壓Vt用。使用版圖中的Nplus 版。該層增大了溝道的電荷濃度,使溝道形成反型更難,
上調(diào)了閾值電壓vt。N+注入用以形成MOS器件源漏。也使用版圖中的Nplus版。由于此次注入在多晶 硅柵之后,被硅柵所阻擋,溝道區(qū)域沒有注入,因此它與器件的閾值電壓Vt無
關(guān)。由上所知,在形成上述器件的過程中,Nplus版使用了 2次,一次作為調(diào)節(jié)溝道離 子濃度的注入,一次作為形成器件源極與漏極的注入。本發(fā)明通過改變了該器件的結(jié)構(gòu),在改
變溝道濃度的同時,保持了原有器件源端 和漏端的離子濃度,實現(xiàn)了低閾值電壓的器件,,即在需要低閾值電壓Vt器件的地方,去除了 MOS管中g(shù)ate區(qū)域的Nplus。P注入和 N+的注
入都只在器件源漏進(jìn)行,溝道區(qū)域只有P-的注入,閾值電壓Vt只由P-注入的電荷 濃度決定,自然就減小了。而源極漏極區(qū)域仍和原有器件一樣,沒有影響。對于PMOS器件同樣只要
除去相應(yīng)的Pplus即可實現(xiàn)Vt的降低。本發(fā)明可運用于所有需要低閾值電壓Vt MOS器件電路中。比如,若某電路中需一 電容,加在其兩端電壓在0. 7V,如使用典型工藝低閾值電壓
Vt為0. 7V左右的MOS管作為電 容,則該MOS工作在耗盡區(qū)或弱反型區(qū)域,電容量將急劇減小,可能影響電路正常工作。在 此只需使用由本發(fā)明所實現(xiàn)的低閾值電壓VtMOS管,使該器
件在0. 7V時處在反型狀態(tài),即 可保持MOS管有足夠的電容量。以上僅是本發(fā)明的具體應(yīng)用范例,對本發(fā)明的保護(hù)范圍不構(gòu)成任何限制。凡采用 等同變換或者等效替換而形成的技術(shù)
方案,均落在本發(fā)明權(quán)利保護(hù)范圍之。
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